バッチ式洗浄装置（Batch Cleaning)

対応洗浄方式	有機洗浄/エッチング/レジスト除去
ウェハ搬送方式	カセットタイプ/カセットレスタイプ/ドラムタイプ
搬送カセット単位	最小1カセット～最大5カセット
対応口径	φ150mm/φ200mm/φ300mm
液流カセットレスタイプのみ	特殊槽の形状＋整流板による理想的なラミナフローを実現。
気流カセットレスタイプのみ	機構部に特殊局所排気を設け、装置内のクリーン化を徹底。
乾燥カセットレスタイプのみ	ベーパー式/スピン式/温水引き上げ式
その他	FA−AGV（自動搬送システム）対応可能 SECS・GEM通信対応可能

枚葉式洗浄装置（Single Wafer Processing Cleaning)

対応洗浄方式	RCA洗浄/レジスト除去/各種エッチング/各種物理洗浄
対応口径	φ１00mm～φ300mm
ハンドリング	バキュームチャック/エッジチャック
主な機能	薬液処理/荷重可変型ペンブラシ機構/二流体洗浄/超音波洗浄
その他	各種機構は仕様にあわせ変更可能